技术编号:6962770
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种板类部件的固定装置,尤其涉及一种适用于将腔门紧锁于腔 体壁上且能解除锁接的紧锁机构。背景技术在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中,为了保证较高的清洁度,常常需要 在真空设备中完成各种工艺,因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备,一般被设 计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺,以0LED(0rganic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)的真空蒸镀为例,将加工好的基板传输至密封的 真空工...
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