技术编号:6963819
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种承载器晶片保护装置,特别是一种用于半导体行业专用抛光设备上的真空吸附承载器晶片保护装置。背景技术半导体行业在对晶片的单面抛光工艺流程中,采用专用的抛光设备,该类设备的 承载器晶片盘一般是通过真空吸附在承载器上。在抛光过程中,由于断电等原因会造成真 空气路发生故障,导致真空度减小,就可能使陶瓷质的晶片盘脱落,从而对晶片造成较大的 损伤,甚至报废,一次脱落事故就可能给企业带来上万元的损失。为了保护晶片在气路发生 故障时不受损伤,应采取行之有效...
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