技术编号:6965144
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基片上载装置,尤其涉及一种应用于半导体生产线上,可在 真空环境下完成基片上载的基片上载装置。背景技术玻璃基材等薄板已广泛用于制造IXD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面 板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀覆薄膜晶体管, 这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤,包括如化学气相沉积制程(CVD)、物 理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程。用于处理玻璃基材的系 统可包...
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