技术编号:6965643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种紫外光探测器技术,特别是一种用于紫外光探测的TiO2纳米 线异质结阵列基紫外光探测器。背景技术紫外光探测器是一种在军、民领域均得到广泛应用的光电探测器件。宽带隙半导 体材料,如(Al)GaN, SiC、ZnO、金刚石等,因其优异的紫外光选择吸收性,优秀的热导、热稳 定性和化学惰性,已成为替代价格昂贵、适用范围有限的光电倍增管和传统硅基探测器的 首选材料。然而,尽管单晶薄膜器件的光电性能非常优异,但制备高质量的单晶半导体薄膜 却一直存在很多...
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