技术编号:6966962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及芯片测试,尤其涉及用于标记晶圆上芯片组位置的透明 定位板。背景技术在半导体芯片的生产中,有很多种情况需要确定某一芯片组具体位置或某几个芯 片组的位置,如根据测试结果找出某一芯片测试值所在的shot的位置,或找出客户需要的 芯片所在的芯片组等。现在通用的找出晶圆上某一芯片组的位置的做法是首先,利用光学显微镜找到所述芯片组的位置;然后,在光学显微镜的物镜下,用记号笔标记所述芯片组的位置。现有的做法存在如下几个问题1)为了显示晶圆上所有芯片组的位置...
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