技术编号：6967599
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于一种晶圆移转缓冲装置，尤其是一种可避免当晶圆承载装置因故 而无法容置晶圆时，可缓冲容置晶圆的装置背景技术目前常见的晶圆承载装置主要有两种不同设计，一种为晶圆片匣(cassette)，具 有顶部、底部及左右侧壁，并且在两侧壁上形成有多凸缘，而晶圆则从上述顶部、底部及左 右侧壁所共同围绕出的侧向出入口进出，而另一种晶圆承载装置为晶圆片盒(magazine)， 是一种上方形成有一个顶端汲放口的承载装置；由于两种晶圆承载装置所移载晶圆的方式有很大差异...
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