技术编号:6967664
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于在半导体(硅)晶圆、液晶玻璃基板、光罩用玻璃基板、光盘用基板等的各种基板上,将其一面移动(搬送)一面进行既定处理的处理装置,及将多个处理装置予以连结而构成的基板处理系统。就进行上述各处理的处理装置而言,现有有一种在搬送滚子上载置基板,利用该搬送滚子边将基板在水平方向移送边进行处理的处理装置,还有一种为连续进行上述各处理而将各处理装置加以连结而构成如附图说明图10所示的基板处理系统。图10是现有基板处理系统的概略构成俯视图,如该图所示,该基板处理...
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