技术编号：6968146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于关闭和开启至少一个用于基板处理的，特别是是用于半导体基板的处理的处理腔室的装/卸口的装置。背景技术在半导体和光伏产业中，在不同的处理腔室中处理基板，特别是半导体基板，是众所周知的。每一个这样的处理腔室具有至少一个常常通过门部件而可关的装/卸口。为了使该处理腔室与外部环境隔离，特别是为了以气密的方式密封该处理腔室，这是必须的。对于处理腔室中的真空工艺，这是尤其必须的，但是，对于其它工艺也是有利的。这样的门部件通常可轴枢地固定至处理腔室以...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。