技术编号:6968317
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管并特别涉及一种制造包括许多薄膜晶体管的器件的方法。薄膜晶体管(TFT)在许多应用中广泛使用。薄膜晶体管技术的一项尤其重要的应用是在有源矩阵液晶显示器领域。但是,这不是唯一的应用;另一实例是在X射线探测器领域,该探测器可以包含一光电二极管的阵列,其中每个光电二极管连接到相应的薄膜开关晶体管上。有源矩阵液晶显示器的有源板上的一种典型的TFT示于图6中。栅51从行电极53横向延伸,在栅延伸区域上面提供半导体区域55,在半导体区域上面提供源57...
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