技术编号：6970183
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种用于湿式制程的基材输送载板，尤指一种用于承载玻璃等透光 基板、晶圆或其它基材，使基材可透过自动化输送装置输送进行蚀刻、清洗…湿式制程的基 材输送载板。背景技术目前如应用于触控面板的玻璃基板、晶圆…等基材于加工制程中，通常必须经过 蚀刻设备进行图案化的蚀刻步骤，及清洗设备进行表面清洗步骤等湿式制程。以玻璃基板的加工制程为例，玻璃基板进行蚀刻及清洗等湿式制程前，玻璃基板 均已切割成预定尺寸的单元面积，因玻璃基板于切割后，其侧边均会产生锐利的毛边...
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