技术编号：6971101
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片生产领域，特别是涉及一种硅片料篮传输线。 背景技术在硅片生产过程中，需要对硅片进行清洗，清洗好的硅片才能应用到相应的设备 中。载片盒和花篮等运载硅片物料的器具都可以称之为料篮。其中，载片盒用于承载 待洗硅片的工件，花篮用于承载载片盒进入水槽进行清洗操作的工件。在料篮中装入待洗 的硅片，一起放入全自动槽式硅片清洗机，严格按照设定的清洗工艺将线切割后的硅片彻 底清洗干净。现有的硅片清洗工序里，清洗机之间一般会有狭窄的过道，硅片插片区和硅片包 ...
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