技术编号：6971806
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体设备，尤其涉及一种快速热处理机台滚珠的装卸工 具。背景技术快速热处理(Rapid thermal processing，RTP)是 将晶片快速加热到设定温度，进 行短时间快速热处理的方法，热处理时间通常小于1 2分钟。过去几年间，RTP已逐渐成 为先进半导体制造必不可少的一项工艺，用于氧化、退火、金属硅化物的形成和快速热化学 沉积。在快速热处理机台使用过程中，为延长快速热处理机台寿命，保证快速热处理机 台高效工作，要对快速热处理机台...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。