技术编号：6974489
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体晶片的制造，特别涉及一种系统，该系统允许对可运输容器的内部环境特征进行非入侵的、连续的本地和远程感测。背景技术 由惠普公司提出的标准机械接口(“SMIF”)系统在美国专利号No.4,532,970和No.4,534,389中公开。SMIF系统的目的是减少在半导体制造过程中晶片的存储和运输期间到达半导体晶片(“晶片”)上的粒子通量。这一目的部分地通过机械地确保在存储和运输期间，环绕晶片的气态介质(例如空气或氮气)相对于晶片基本静止，以及通过确...
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