技术编号:6977833
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可检测与表面配设有导电图形的基板的输送方向大致垂直的方向上的位置偏差的基板位置偏差检测装置和基板位置偏差检测方法。背景技术 现在,作为确定表面配设有导电图形的基板的误差的方法有作用于基板端部的光学检测方法或作用于基板端部的机械检测方法等。或者,如特开平10-311861所述,在基板上配设有图形的情况下,采用在导电图形的两侧配置传感器,根据传感器检测信号的差分,检测出位置偏差的方法。但是,在光学检测方法中,由于发光装置有问题或周围气氛的状态,会使检...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。