技术编号：6982293
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种等离子体处理装置，特别涉及一种利用高频的等离子体源的 等离子体处理装置。背景技术目前，在制作太阳能电池的过程中，通常将硅片放置在电容耦合式的等离子体处 理装置的反应腔的下电极上，通过在下电极或与其对应设置的上电极之间形成电场，将引 入反应腔的反应气体电离形成其等离子体。或是在电感耦合等离子体处理装置的反应腔的 顶板外侧设置若干线圈，通入交变电流后产生一个感应电场，将引入的反应气体解离形成 其等离子体。通过该反应气体的等离子体对硅片进行制绒...
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