Esd保护的功率mosfet和igbt的制作方法技术资料下载

技术编号:6983020

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实用新型是对具有ESD保护功率MOSFET和IGBT改进,特别涉及一种栅极与源极间漏电小,ESD泄放能力强,芯片利用率高,制造简单,成本低的ESD保护的功率MOSFET和IGBT。背景技术随着功率半导体器件的发展,人们对功率MOSFET和IGBT性能有更高的要求,例如在器件封装、运输、装配及使用过程中常常容易出现静电(ESD)现象,它会在它们的栅极产生一个高电场,使得栅介质在高电场下发生绝缘击穿,从而使器件失效,其中ESD (静电)保护功能就是一项重要指标...
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