技术编号:6983339
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种被构造成用于存放半导体晶片盘、胶片帧或者类似物品的容器或者载体。尤其是,本发明涉及一种通用的模块式载体或者容器系统,用于在生产过程中容纳和精确地定位半导体晶片盘、胶片帧或者类似物品,这种模块式承载系统包括一个外框架,该外框架可以被连附到一个壳体部分上和从该壳体部分上拆卸下来,并且在其上连接有一个制造工艺附件。背景技术 将晶片盘加工成集成电路芯片会涉及许多步骤,在这些步骤中晶片盘需要被反复处理、存储和输送。由于这些晶片盘非常精密并且价值很高,所...
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