技术编号：6983341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在衬底上淀积透明氧化物膜的方法，特别是用在光伏电池，又叫太阳能电池的制造中。本发明也涉及到这样的一种电池，其中的透明氧化物膜是采用本方法淀积的。目前，技术上最先进的太阳能电池包括衬底，淀积在衬底上的TCO(透明导电氧化物)膜以及淀积在该氧化物膜上的光伏有源膜。有利地，这种光敏膜由无定形的，微晶的或者纳米晶氢合硅的三个亚层组成，构成一个p-i-n结。更精确的，两个外部亚层分别是正掺杂和负掺杂的，然而，中间的亚层是本征的。例如，在申请EP 969...
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