技术编号:6985576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及一种晶片传递系统。更具体的,本发明涉及一种安装有设备前端模块(EFEM)组件的一体化可伸缩机架或构造,以及用于传递晶片的晶片机(wafer engine)。背景技术标准机械接口箱(SMIF箱)通常包括箱门,该箱门与箱壳紧密配合以提供一种密封环境,可在此密封环境中存放及传递晶片。一个这种类型箱是一种称之为FOUP10的前开式一体化箱,其中,箱门位于一个垂直平面内,且晶片支承在安装于箱壳内的一个盒子中或两个壳体中。在加工半导体晶片的过程中,利用S...
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