技术编号:6986367
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上集成形成有以多晶硅、微晶硅等为活性层的薄膜晶体管的图像显示装置用的薄膜晶体管阵列装置、使用该薄膜晶体管阵列装置的EL显示面板以及EL 显示装置。背景技术薄膜晶体管,用于有机EL显示器、液晶显示器等显示装置的驱动基板,现在,面向高性能化的开发正在积极进行。特别是,在伴随着显示器的大型化、高精细化,而要求薄膜晶体管的高电流驱动能力的进程中,活性层使用结晶化了的半导体薄膜(多晶硅、微晶硅) 的薄膜晶体管受到瞩目。作为半导体薄膜的结晶化工艺,代替...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。