技术编号：6986518
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于半导体装置和用于显示器的薄膜晶体管阵列基片的接触结构及其制造方法。背景技术 通常，随着半导体装置逐渐集成化，优选半导体装置面积须最佳且形成多层布线。这时，绝缘层为了使通过布线传递的信号干扰变得最小，优选由低介电材料形成。而且传递相同信号的布线应在绝缘层形成接触孔相互电连接。但在蚀刻绝缘层形成接触孔时，若在接触部发生底切就使接触部的台阶覆盖变差。由此发生绝缘层上部的布线剖面变差或在接触部布线断线的问题。另外，液晶显示器是目前使用最广泛的平板...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。