技术编号:6986681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及接合式微机电组件。 背景技术微机电系统(MEMQ通常具有利用传统半导体处理技术形成在半导体基底中的机械结构。MEMS可包括单一结构或多结构。MEMS具有电部件,其中,电信号各自激化 (activate)或由MEMS中各结构的致动所产生。MEMS可由一系列层通过层叠形成,其中,一个或多个层包括孔隙或凹部。或者, MEMS可借助于连续的沉积和蚀刻处理而形成。也可采用层叠与沉积和蚀刻处理的组合。一些MEMS包括一系列的重复式结构。通常,对于各种重复式结...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。