技术编号：6987335
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，特别是涉及具备能够同时运送多片基板的末端执行器的机器人及其运行方法。背景技术在半导体、液晶显示板等的制造中，日益要求应对晶片或玻璃板等基板的高速运送、高清洁化。特别是在半导体制造领域中，例如要求用于从收纳晶片的盒中高速地取出晶片，并向运入目的地的装置(或者盒)内运送(或者相反地从该装置向盒中运送)的有效手段。另一方面，在从某种装置中取出晶片之际，存在与其装置的特征相对应地根据进行该装置完成的处理之前的晶片、处理后的晶片区别用于运送的机器人的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。