技术编号:6987416
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMQ,并且更具体地说,涉及一种具有柔性膜和用于弯曲所述膜的改进型电致动装置的新颖MEMS结构。该新颖MEMS结构可以用于各种应用中,并且特别是可以有利地用于例如制造MEMS开关(电阻接触开关或者电容接触开关),更特别是射频(RF)开关,或者可以有利地用于例如制造光学MEMS结构,还被称为微光学机电系统(MOMES)。现有技术现在,微机电系统(MEMS)结构广泛用于制造RF开关(电阻接触开关或者电容接触开关)或者光学开关。更特别的是...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。