技术编号：6987426
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有电触点用来测试集成电路的探针卡，且具体来说是涉及一种用于补偿此类探针卡热导运动的系统和方法。探针卡用于测试通常是在晶片板上的晶模，比如集成电路装置。此类探针卡与一种称为测试器(有时称为探测器)的装置结合使用，其中该探针卡被电连接至测试器装置，并且该探针卡又与待测试的集成电路形成电接触。背景技术 通常，将待测试的晶片装入测试器中，将其固定在一个可移动的卡盘内。在测试过程中，卡盘移动晶片使其与探针卡形成电接触。此一接触发生在探针卡上多个电触点...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。