具低电阻含金属薄层的制造方法技术资料下载

技术编号:6987440

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本发明是相关于一种具低电阻的含金属薄层的制造方法,更特别的是,相关于用于半导体构件的薄铜互连。背景技术 现今,积体半导体电路的制造是较佳地已经牵涉到在线路层(wiring level)中沉积及结构化铝层,以产生互连,原则上一铝层是沉积至一预定的目标厚度,然后藉由一传统的光微影以及相关连的蚀刻程序而加以结构化。然而,越来越多替代地材料被使用,特别是用于此型态的金属层中,以达成逐渐增加的积体密度。举例而言,此型态的线路层所使用的铜,其由于与铝相较之下电阻相当低...
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