技术编号:6987493
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使输送对象能够自由倾动的夹持装置、输送装置及旋转传动装置。背景技术在传输LSI (Large Scale Integration)用半导体基板、显示屏用玻璃基板等(以下简称为“基板”)的输送装置中有一种通过安装在机器人臂前端的机械手来夹持基板的传输装置。此种输送装置需要基板确切的夹持位置和高度位置,并且对机械手夹持基板的夹持机构具有多种形态。在专利文献1中,公开了一种基板输送机械手,其基板装载面经辐射率小的金属膜成膜处理。此基板输送机械手可抑...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。