技术编号:6987929
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于将基板箝制于基板支撑结构的表面上的方法,一种被设置成将基板箝制于基板支撑结构上的箝夹准备单元,以及一种包括所述箝夹准备单元的光刻系统。背景技术将诸如晶圆的基板箝制到诸如晶圆台的基板支撑结构的表面上在半导体产业中特别是在光刻(lithography)系统中早为已知。在这样的光刻系统中,通过入射的光子或诸如离子和/或电子等带电粒子,而使被箝制的基板产生图案。箝制步骤能确保基板表面的目标部位产生高度精确的图案。优选地,不仅在曝光期间要使用箝制步...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。