技术编号：6988035
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于沉积和外延剥离过程的平铺衬底发明背景发明领域本发明的实施例大体上涉及光伏、半导体和电子的材料和器件的制造方法，并且更具体地涉及外延剥离(ELO)过程和通过ELO过程形成的薄膜和器件。相关技术的描述通常通过使用多种制造过程来操作衬底的表面从而生产光伏或者太阳能器件、半导体器件、或者其他电子器件。这些制造过程可以包括沉积、退火、蚀刻、掺杂、氧化、氮化和许多其他的过程。一般地，所生产的器件通常将部分或者整个底部衬底包含到电子器件的最终结构中。例如，光伏器件经...
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