技术编号:6988314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种提高纳米线结构的可靠性的方法以及具有这种提高的可靠性的纳米线产品。背景技术纳米线因其物理特性及在各种纳米装置中的应用而越来越受到关注。在半导体装置中,纳米线用作构建模块,用于制造光子和电子纳米装置,并且尤其用于传感器中。半导体装置也将纳米线用于各种目的。这些目的包括形成连接,诸如晶体管沟道,通过CMOS工艺制造的微电路中的晶体管的各电极之间的连接。纳米线可由硅制成,其优点在于容易集成到现有的硅装置技术,以及其电子特性的可重复控制。由上至下制造...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。