技术编号:6988581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及聚氨酯及含有它的研磨层形成用组合物、以及化学机械研磨用垫及使用它的化学机械研磨方法。背景技术聚氨酯弹性体的力学特性优异,具有耐磨损性、耐油性、耐弯曲性等许多优点,一直以来被用作输送带、鞋底、软管及高尔夫球等的原材料。另一方面,作为用于研磨玻璃及半导体基板的研磨垫,可以使用例如日本特开昭64-58475号公报中记载的那种使无纺布浸渍聚氨酯溶液而得到的多孔质无纺布及聚氨酯成型物等。特别是作为适合于对半导体基板表面进行平坦化的化学机械研磨方法(Chem...
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