技术编号:6988864
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具备包含多个薄膜晶体管和ESD保护用二极管的电路的半导体装置。背景技术近年来,每个像素具有薄膜晶体管(Thin Film Transistor ;下面称为“TFT”)的液晶显示装置、有机EL显示装置正在普及。TFT利用在玻璃基板等基板上形成的半导体层进行制作。形成TFT的基板被称为有源矩阵基板。作为TFT,一直以来广泛使用将非晶硅膜设为活性层的TFT(下面称为“非晶硅TFT”)、将多晶硅膜设为活性层的TFT(下面称为“多晶硅TFT”)。因为多晶硅...
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