技术编号：6988940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术范围本发明涉及陶瓷加热器，特别是涉及半导体制品的制造和检查装置使用的半导体制造-检查装置用陶瓷加热器、光学仪器等范围使用的陶瓷加热器。 背景技术 具备蚀刻装置、化学气相成长装置等的半导体制造-检查装置等使用加热器，该加热器采用不锈钢和铝合金等金属基材。但是，这种金属制成的加热器存在以下问题。即由于加热器是金属制成的，因此要求加热板的厚度必须在15mm左右。其原因是对于薄金属板，加热引起的热膨胀会导致翘曲、变形等，载置于金属板上的硅晶片会破损、偏斜。不过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。