技术编号：6989022
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电气地吸附被吸附物的，详细而言涉及在使用时形成紧固的一体构造，并且在使用之后可以自由地变更构造体的结构的。背景技术电气地吸附并保持被吸附物的静电吸附构造体被使用于吸附并保持半导体基板、 玻璃基板，并且被使用于吸附并保持纸、树脂等片状物等被使用于各种用途。静电吸附构造体通常从上下方向分别用电介体夹住电极并通过吸附电源对电极施加电压，从而将一方的电介体的表面作为吸附面而吸附被吸附物，在根据用途进而在例如半导体制造工艺等中使用的情况下，与具备流过冷却气...
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