技术编号:6989316
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总地来讲涉及对工件上的对齐标记的检测。更具体讲,是运用干涉测量法从晶片、中间掩模等工件表面上检测对齐信号。背景技术 工件的对齐对于精密半导体器件制造而言具有决定性的作用。所述工件可以是所谓的晶片。二氧化硅是一种常用的晶片材料,不过还可以使用诸如砷化镓这样的其它衬底。在制造过程中,需要将所述工件精确地对齐。例如,在直接对衬底进行刻写的过程中,必须精确地确定衬底的位置,才能使对一层一层的构图产生所需的三维结构。为了在步进器中进行刻写,掩模必须与工件精确对...
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