使用干涉测量法进行对齐的方法技术资料下载

技术编号:6989316

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明总地来讲涉及对工件上的对齐标记的检测。更具体讲,是运用干涉测量法从晶片、中间掩模等工件表面上检测对齐信号。背景技术 工件的对齐对于精密半导体器件制造而言具有决定性的作用。所述工件可以是所谓的晶片。二氧化硅是一种常用的晶片材料,不过还可以使用诸如砷化镓这样的其它衬底。在制造过程中,需要将所述工件精确地对齐。例如,在直接对衬底进行刻写的过程中,必须精确地确定衬底的位置,才能使对一层一层的构图产生所需的三维结构。为了在步进器中进行刻写,掩模必须与工件精确对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 贺老师:氮化物陶瓷、光功能晶体材料及燃烧合成制备科学及工程应用
  • 杨老师:工程电磁场与磁技术,无线电能传输技术
  • 许老师:1.气动光学成像用于精确制导 2.人工智能方法用于数据处理、预测 3.故障诊断和健康管理
  • 王老师:智能控制理论及应用;机器人控制技术
  • 李老师:1.自旋电子学 2.铁磁共振、电磁场理论
  • 宁老师:1.固体物理 2.半导体照明光源光学设计实践 3.半导体器件封装实践
  • 杨老师:1.大型电力变压器内绝缘老化机理及寿命预测 2.局部放电在线监测及模式识别 3.电力设备在线监测及故障诊断 4.绝缘材料的改性技术及新型绝缘材料的研究
  • 王老师:1.无线电能传输技术 2.大功率电力电子变换及其控制技术