技术编号：6989469
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。静电夹头中的点火防止本公开涉及静电夹头(electrostatic chucks)，特别是涉及包括有助于防止在夹头组件和正在处理的晶片之间的电弧或在背部气体分配通道中的等离子点火(Plasma ignition)的特征的静电夹头设计。静电夹头可用于固定、夹住或以其他方式处理用于半导体加工的硅片。在加工过程中也配置了很多静电夹头，以帮助调节晶片的温度。例如，如在本领域广为记载的，诸如氦气之类高导热气体可在静电夹头中循环，以帮助调节晶片的温度。更具体地说，在等...
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