技术编号:6989893
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有针对在线沉积工艺的现场配置的位置敏感高温计。 背景技术热辐射是由于物体的温度而从物体的表面发射的电磁辐射。非接触温度计或者高温计可以检测和测量热辐射,以确定物体的温度。因此,高温计可提出用于测量运动的物体或者在接触或触摸物体很难或不可能的情况下的任意表面的合适的解决方案。发明内容在一方面,一种监测基底的方法可包括将来自基底的热辐射引导到像素阵列传感器,其中,基底具有表面,并通过像素阵列传感器从热辐射测量基底的温度。所述表面可包括沉积在基底...
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