技术编号：6989901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。使用离子束在过孔内的选择性纳米管生长背景技术碳纳米管应用在电子设备的一个例子是其在大规模集成电路(LSI)的互连上的应用。碳纳米管的直径的范围在数纳米(nm)至数十个纳米之间，并且长度为数纳米。由于一维形状的各向异性导致的一维电子特性，碳纳米管具有可以允许电流通过而无断路的、 约每平方厘米1，000，000安培(A)的最大电流密度的特性，这是铜互连的最大电流密度的 100倍或更高。此外，在热传导方面，碳纳米管的传导性是铜的10倍。在电阻方面，已有研究指出，...
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