技术编号:6990219
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种改进的电容式微加工超声换能器(CMUT)以及用于制造CMUT的方法。背景技术附图说明图1至图3示出了具有平坦底部电极140的电容式微加工超声换能器(CMUT) 100 的传统工作原理。参照图1,CMUT 100类似于平行板电容器,具有位于介质薄膜120上的顶部电极 110,该介质薄膜120通过真空或空气腔室130与底部电极140隔离。底部电极140通常形成在平坦的导电基板上。顶部电极110和底部电极140可以由诸如导电硅基板之类的导电材料制成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。