技术编号:6990223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。特别是,本发明涉及从紫外光到蓝色、绿色、橙色以及白色等可见光波段整个波段内的发光二极管、激光二极管等GaN系半导体发光元件。这样的发光元件在显示、照明以及光信息处理领域等中的应用备受瞩目。此夕卜,本发明涉及在氮化物系半导体元件中使用的电极的制造方法。背景技术作为V族元素而具有氮(N)的氮化物半导体因为其带隙的大小,有望作为短波长发光元件的材料。其中,氮化镓系化合物半导体(GaN系半导体AlxGi^nzN(0 ( x、y、z ( 1, x+y+z...
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