晶体管及显示设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6990235

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本发明涉及使用氧化物半导体形成的晶体管以及包括晶体管的显示设备。 背景技术近年来,使用形成于具有绝缘表面的基板之上的半导体薄膜(具有大约几纳米到几百纳米的厚度)来形成晶体管的技术已经引起了人们的注意。晶体管广泛应用于诸如IC 之类的电子器件及光电器件,并且特别地被人们预期将快速发展成为图像显示设备的开关元件。各种金属氧化物被用于各种应用中。氧化铟是众所周知的材料,并且被用作液晶显示器等所需的透光电极材料。某些金属氧化物具有半导体特性。此类具有半导体特性的金...
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