技术编号:6990463
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。使用结合选择性外延生长的混合定向技术(HOT)提高迁移率的方法及相关设备本发明大体上针对集成电路。更特定来说,本发明针对使用结合选择性外延生长的混合定向技术(HOT)来提高迁移率的方法及相关设备。背景技术互补型金属氧化物半导体(CM0Q电路通常形成在具有(100)结晶定向的硅衬底上。混合定向技术(HOT)使用单个衬底上的不同的结晶定向。举例来说,混合定向技术可将(100)结晶定向衬底与在相同的半导体晶片上的(110)结晶定向衬底混合。此通常经进行以帮助提高...
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