技术编号：6991247
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明 的实施例属于薄膜电池的领域，更具体地，属于阴影掩膜(shadow mask)固定和对准系统以及方法。现有技术目前的努力旨在縮小薄膜电池(TFB)的尺寸以包括甚至更小的特征，同时提高用于这种薄膜电池的大批量制造的能力，这些努力大部分都依赖于传统的薄膜电池制造方法和技术。这种传统方法和技术可包括在典型的薄膜电池エ艺流程中的每ー及所有沉积操作中使用阴影掩膜或阴影掩膜组。例如，在传统的エ艺中，处理工具装载有阴影掩膜，在处理工具中执行单层沉积，并且随后卸载第...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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