一种变面积型电容传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6991334

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本实用新型涉及传感器,特别提供了一种高灵敏度的变面积型电容传感器。电容型传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应好、抗过载能力强和价格便宜等特点,可以用来检测压力、力、位移以及振动等非电参量,是一种应用广泛和有发展前途的传感器。对于相互平行的金属极板,当不考虑其边缘效应时,其电容量为C=εA/d,影响平行极板电容器电容量的参数有ε、A、d,只要其中一个参数发生变化,电容C就要改变。电容式传感器就是利用被测非电量改变其中一个或两个参数,从而得到被测量同传感器电...
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