技术编号：6991393
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及静电电容型的加速度传感器。背景技术以往，如图5 Ca)所示，已知一种加速度传感器具备具有可动电极的长方体形状的重物部100 ;在重物部100的长边方向的大致中央、转动自如地支撑重物部100的一对梁部101 ;和分别相对于以连结一对梁部101的直线为边界线的重物部100的表面的一侧及另一侧隔开规定距离地对置配置的一对固定电极102、103(例如，参照专利文献I)。该加速 度传感器通过差动检测伴随着以上述边界线为转动轴的重物100的转动的、可动电极(...
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