技术编号:6991531
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包括半导体元件的半导体装置及其制造方法。应注意到,本说明书中的半导体装置指示可以利用半导体特性来操作的所有装置,和诸如晶体管的半导体元件;并且包括该半导体元件的光电装置、半导体电路、以及电 子器具都被包括在半导体装置的类别中。背景技术近年来,利用氧化物半导体作为半导体材料来制造晶体管并且将该晶体管应用于半导体电路、1C、光电装置、电子器具等的技术已经引起了关注。例如,专利文献I和专利文献2公开了这样一种技术,即,利用包括处于具有绝缘表面的基板上的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。