半导体装置和及其制造方法技术资料下载

技术编号:6991531

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本发明涉及包括半导体元件的半导体装置及其制造方法。应注意到,本说明书中的半导体装置指示可以利用半导体特性来操作的所有装置,和诸如晶体管的半导体元件;并且包括该半导体元件的光电装置、半导体电路、以及电 子器具都被包括在半导体装置的类别中。背景技术近年来,利用氧化物半导体作为半导体材料来制造晶体管并且将该晶体管应用于半导体电路、1C、光电装置、电子器具等的技术已经引起了关注。例如,专利文献I和专利文献2公开了这样一种技术,即,利用包括处于具有绝缘表面的基板上的...
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