用于电容式机电变换器的控制设备以及控制电容式机电变换器的方法技术资料下载

技术编号:6991693

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本发明涉及用于执行弹性波(例如超声)的发送/接收(在本说明书中,“发送/接收”意指发送和接收中的至少一种)的机电变换器(例如超声探头)的控制设备,并且还涉及控制机电变换器的方法。背景技术作为执行超声的发送/接收的变换器,已经提出了作为通过应用有半导体工艺的MEMS (微机电系统)工艺制造的电容式超声变换器的CMUT(电容式微加工超声变换器)。存在如下的测量方法,即利用超声变换器,超声被发送到测量对象,并且由测量对象反射的超声被接收以便获得关于测量对象的信息...
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