技术编号：6991741
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及一种晶片载体，该晶片载体设计成用于支承、约束、储存和精确地定位在集成电路生产中使用的半导体晶片盘。更具体地，本发明涉及用于对准晶片载体的界面联接件及其使用方法。背景技术 用于将晶片盘转化成集成电路芯片的制造工艺包括若干步骤，在这些步骤中晶片被重复加工、储存和输送。这些盘非常精密且极其贵重。因此在各种加工步骤中对它们进行保护而不受物理损坏且不引入污染物是很重要的。使用晶片载体是为了在制造过程中向晶片提供必要的保护。美国专利No.5944194和...
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