技术编号:6992485
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在水清洁设备中使用的盒(cassette),且更具体地,涉及一种可应用于用来清洁各种尺寸的晶片水清洁设备的盒夹具,以及具有该盒夹具的盒组件。相关申请的交叉参考本申请要求于2010年I月22日在韩国提交的韩国专利申请No. 10-2010-0006096的优先权,其全部内容通过弓I证结合于此。背景技术在半导体晶片制作过程中,清洁过程是一个通过去除遗留在晶片表面上的各种颗粒或者金属污染物来清洁晶片表面的过程。·通常,晶片清洁过程通过如图I所示的晶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。