纳米级开关器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6992908

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纳米级开关器件 政府利益的声明 本发明是根据国防高级研究计划署授予的合同N0.HR0011-09-3-0001在政府支持下做出的。政府享有本发明中的一定权利。_2] 相关申请的交叉引用 本申请与2010年3月31日提交的申请序列号PCT/US2010/029423有关,该申请使用金属氧化物位封装涂层来最小化寄生电阻并且消除侧壁短路。背景技术重大研究和发展努力目前针对设计和制造纳米级电子器件,诸如纳米级存储器。纳米级电子技术有显著发展的前景,包括显著降低...
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